Это я видел.
Но не понятно, для чего тогда добавляют в htaccess для апача эти строки, если их не нужно добавлять к nginx.
А если 200гиг поместить в контейнер tar к примеру, и после его слить?
возможно айноды закончились,
Вообще такое количества лучше рсинком в фоном режиме бэкапить.
лог посмотри /var/log/messages, может в лог упадет ошибка.